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太陽能電池擴散設(shè)備簡介

鉅大鋰電  |  點擊量:0  |  2019年08月07日  

太陽能電池擴散設(shè)備,包括擴散爐和機臺排風(fēng)端。太陽能電池擴散設(shè)備的運轉(zhuǎn)流程是,擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端排出,機臺排風(fēng)端安裝排風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器。抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后,磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后,方塊電阻也隨之穩(wěn)定,可以提升最終太陽能電池的效率5%。 擴散爐是太陽能電池片形成P-N結(jié)的核心組件,擴散爐的質(zhì)量直接影響到電池片的性能。現(xiàn)在太陽能廠家流行的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟著陸擴散,開管擴散的產(chǎn)量比較低,偏磷酸的用量比較大;閉管擴散工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾;軟著陸擴散是根據(jù)現(xiàn)有6-8英寸集成電路擴散設(shè)備,而提出的新概念;軟著陸擴散工藝質(zhì)量完全受控;工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放;更加安環(huán)保。


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